CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:78067

CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍(dù)膜機

工作原(yuán)理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的(de)磁控濺射工作原(yuán)理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引(yǐn)起物(wù)體表麵原子從母體中逸出(chū)的現象(xiàng)。早在1842年Grove在(zài)實驗(yàn)室中就發現了這種現象。磁控濺射(shè)靶采(cǎi)用靜止電磁場,磁場為曲線(xiàn)形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場(chǎng)作用下,加速飛向基片的過程中(zhōng)與氬原子發生碰撞。若(ruò)電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離(lí)出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電(diàn)場作用下,加速飛(fēi)向陰極(濺射靶)並以高能量(liàng)轟擊靶表麵,使靶材發生(shēng)濺射。 

應用範圍(wéi)

廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀(yí)器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁(cí)磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝(zhuāng)飾膜、導電膜(mó)等領域有優(yōu)勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和(hé)重複性好。能夠可靠的鍍(dù)製預定厚度的薄膜,並且濺射(shè)鍍膜可以在較大的表麵上(shàng)獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與(yǔ)基片(piàn)的附著力強。部分高能量的濺射原子產生(shēng)不同程度的注(zhù)入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料(liào)的薄膜(mó),可以(yǐ)使用不同的材料同時濺射製(zhì)備混合膜(mó)、化合(hé)膜,還(hái)可(kě)濺射成(chéng)TiN仿金膜;
4)、膜層純度(dù)高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱(rè)器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。

技術參數表

CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機     
型號(hào)CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵(bèng)機組KT800擴散泵機組KT630擴散泵機(jī)組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機組
鍍膜係統直流或中頻(pín)電源(yuán)、鍍膜輔助(zhù)離子專(zhuān)用電源
充氣(qì)係統質量流量計質量流量計(jì)質量流量計質量流量計質量流量計質量流(liú)量計質量流量計
控製方式(shì)手動或全自動手(shǒu)動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全(quán)自動手動或(huò)全自動手動或全(quán)自動
極限真空(kōng)5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設(shè)備參數僅做參考,具體(tǐ)均按客戶實際工(gōng)藝要求(qiú)設計訂做
友情鏈接: 三菱伺服(fú)電(diàn)機(jī)  鐵件鍍錫  粉塵檢測儀(yí)  鋼筋桁架樓承板  環氧自流平施工  紅木(mù)家具  法蘭盤  水穩攪拌(bàn)站  端子截麵分析儀(yí)  鈹銅板 
版權所有 © 昆(kūn)山(shān)柚子影视:精彩影视作品尽在柚子影视平台真空技術工程有限公司 Copyright 2016 All Rights Reserved
  技術支持:昆(kūn)山果橙網絡  蘇ICP備16002609號-1  後台(tái)登陸 網站地圖  XML
柚子影视:精彩影视作品尽在柚子影视平台