工作原理
應用範圍
產品特點
技術參數表(biǎo)
HL係列多弧離子真(zhēn)空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組(zǔ) | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環(huán)弧靶+柱形弧靶(可(kě)選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低(dī)溫離子輔助源(除工具鍍(dù)外無需加溫係統) | ||||||
充(chōng)氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 |
控製方(fāng)式(shì) | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動(dòng) |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶(hù)實際工藝要求設(shè)計訂做 |