SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24950
SF係列電(diàn)子束(shù)蒸發光學真空鍍(dù)膜機

工作原理

電子束蒸發是將(jiāng)膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從(cóng)表麵汽(qì)化逸出後入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸(zhēng)發比一般電阻加熱蒸發熱效率(lǜ)高、束流密度大、蒸(zhēng)發速度(dù)快,製成的薄膜純度(dù)高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透(tòu)膜(mó)、反射膜、濾光膜、分(fèn)光膜(mó)、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能(néng)夠實(shí)現0-50層膜的膜係鍍膜(mó),也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸(zhēng)發源、電子槍(qiāng)和離子源及膜(mó)厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化(huà)合(hé)物及其他高熔點(diǎn)膜材皆可(kě)蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現(xiàn)對整個工(gōng)作過程的自動控製,工(gōng)作效率和產品質量重複性一致性優良.
2)適用於光學領域行業,大規模工業生產要求的廠商使用。

技術參數(shù)表

SF係列電子束蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸(cùn) Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組(zǔ)KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統(tǒng)電子槍(qiāng)蒸(zhēng)發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源(yuán)或霍爾離子源
充氣係(xì)統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚(hòu)監控(kòng)係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣(qì)速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空(kōng)3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備(bèi)注以上設備參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
友情鏈(liàn)接: 三菱伺服電機  鐵件(jiàn)鍍錫(xī)  粉塵檢(jiǎn)測儀  鋼筋桁架樓(lóu)承板  環氧自流平施工  紅木家具  法蘭盤  水穩攪拌站  端(duān)子截麵分(fèn)析儀  鈹銅板 
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