工作原理
應用範圍
產品特(tè)點
技術參數表(biǎo)
ZFW係列臥(wò)式電阻蒸發真空鍍(dù)膜(mó)機 | |||||||
型號 | ZFW-600 | ZFW-1400 | ZFW-1600 | ZFW-1800 | ZFW-2000 | ZFW-4000 | ZFW-5000 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM | Φ2000×3000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | KT500擴(kuò)散泵機組 | 雙KT6300擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵(bèng)機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*4套 |
鍍膜係統 | 電阻蒸(zhēng)發源(yuán)、鍍膜輔助離子專用電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式 | 手動或全(quán)自動 | ||||||
抽氣(qì)速(sù)率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真(zhēn)空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注(zhù) | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設計(jì)訂做,可選擇保護膜鍍膜功能 |