工作(zuò)原(yuán)理(lǐ)
WJZ係列(liè)無介質獨立(lì)膜電阻蒸發真空鍍膜機的原理是在真空室中將(jiāng)金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將材料(liào)汽化,汽化(huà)後的金屬分子產生飛逸(yì)沉積於基材的表麵(miàn)上形成鋁、錫(xī)等純金屬薄膜層,出爐(lú)後將膜層從特別的基(jī)材表麵可輕輕剝落,形成無介質獨立性的厚度為2-3μm,具有一定彈性、能夠隔離(lí)氣體和光線的薄膜(mó)。
應用範圍
產品(pǐn)特點
技術參數表
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發(fā)真空鍍膜機 | |||||||
型號(hào) | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電阻(zǔ)蒸發源+圓柱磁控多(duō)弧(hú)(可選配) | ||||||
鍍膜輔助係統 | 低溫離子鍍膜電(diàn)源 | ||||||
充氣(qì)係統 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 |
控製方式 | 手動或全(quán)自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真空(kōng) | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工藝(yì)要求設計訂做 |