如何掌控真空鍍膜的均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2518
如何掌控真空(kōng)鍍膜的均(jun1)勻性
我們先來認識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使用鍍膜(mó)機的(de)關鍵怎麽(me)調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況與各真空泵的性能;
2、測試設備的密封性能(néng),就是抽到極(jí)限後保壓1小(xiǎo)時看壓降是否達標,同時(shí)排除細(xì)小的漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕(jué)緣等等;
4、如果有工藝(yì)保證的話就繼續(xù)打(dǎ)樣並作測試。
5、所有的測試應作(zuò)記錄,並(bìng)有記錄人簽字以及有使用(yòng)部門或工程部門的人確認簽(qiān)字
怎麽掌控真空鍍(dù)膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理的(de)不同分為很多種類,僅僅因為都(dōu)需要高真空度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。並且均(jun1)勻性這個概念本身也會隨著鍍膜尺度(dù)和薄膜成分而有著不同的意義,下麵分別說一下:
均勻性主(zhǔ)要體現在3方麵:
1、厚度上的均勻(yún)性,也可以理解為粗糙度(dù),在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波(bō)長(zhǎng)作(zuò)為單位(wèi),約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕鬆將粗糙度控製(zhì)在可見光波長的1/10範(fàn)圍內,也(yě)就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子(zǐ)層(céng)尺度上的均勻度(dù),也就是說要實現10A甚至1A的表麵平整(zhěng),是現在真空鍍膜中主(zhǔ)要的技術(shù)含量與技術瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說(shuō)在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果(guǒ)濺控濺射鍍膜機(jī)過程不科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而可能(néng)是其他的比例,鍍的膜並(bìng)非是想(xiǎng)要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜(mó)的技(jì)術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定(dìng)了薄膜是單晶(jīng),多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點問題。
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