彩色係膜層和常規色膜層區別（bié）就是C值和H值，所以可以說，黑色也是彩色係膜層。

鋯＋氮氣：黃綠調金黃色
鋯＋甲烷：深淺黑色（sè）
鋯＋氧氣：白色、透明膜
鋯＋氮氣＋甲烷：金色、仿玫瑰金

鉻＋甲烷（wán）：深淺黑色
鉻＋氮氣：淺黑色
鉻＋氮氣＋甲烷：銀灰色
鉻＋氧氣：輕（qīng）黃色、紫（zǐ）色、綠色

SUS＋氧氣：紫色
SUS＋氮氣：藍色
SUS＋甲烷：亮黑色
SUS＋甲烷＋氮氣：藍黑色（sè）

矽＋氮氣：黑色
矽＋氧氣：混（hún）濁白、透明膜
矽＋甲（jiǎ）烷：黃色、綠色、藍色、黑色(靶材純度高於99%僅能調黑色)

鈦＋氧（yǎng）氣：光學膜七彩（cǎi）截色，不多介紹都懂。
鈦＋甲烷：深（shēn）淺黑色( DLC製備不（bú）能達標)
鈦＋氮氣（qì）：仿金色、黃銅色、紫色、紅（hóng）色（sè）
鈦＋氮氣＋甲烷（wán）：仿玫（méi）瑰（guī）金、黑（hēi）綠（lǜ）色、複古黃、棕色、紫色

鎢＋氮氣：棕黃色
鎢＋甲烷：深淺黑色（sè）
鎢＋氧氣：紫色，鮮黃色，棕色，藍色

以上僅裝（zhuāng）飾（shì）薄膜常用材（cái）料及其常用氣體，通常甲烷和乙炔都可互替，但（dàn）涉及部分顏（yán）色甲烷效果更好。

下一個：磁控濺射過程中常見問題的解決方案