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真空鍍膜機多片式比(bǐ)較片裝置的設計特點(diǎn)

作者: 來源: 日期:2016-01-12 16:20:19 人氣:4124
     1)、固定(dìng)筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的(de)固定(dìng)方式,可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止(zhǐ)高溫濺射磨(mó)料對其內部零部件汙染(rǎn),保(bǎo)證撥動盤15 轉動的靈活性。
   2)、圓形(xíng)軸承(chéng)座(zuò)2 的設計,保證軸承座安裝的(de)密封性和垂(chuí)直度;增大軸(zhóu)1 的直徑尺寸,加(jiā)大軸承座2 中兩軸(zhóu)承的安裝間距,提高其自身的強度和剛度(dù),保證轉動過程中軸1 的剛度和撥(bō)動盤15的旋(xuán)轉靈活性、位置重複的一致性。
   3)、裝載換位機構,通過擴大支承盤16 的直徑,使該機構在平麵方向的有效麵積增大,可安裝直徑大(dà)(Φ26.5mm)的比較(jiào)片,有利於光路調整,提高光學薄膜(mó)質量;比較片12 由單片玻(bō)璃作(zuò)為一個比較片單元,比(bǐ)較片采用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個(gè)比較片存儲(chǔ)筒13 內,實現一次可放置(zhì)50~100 片比較片,解決鍍膜機鍍製多層精密光學薄膜,比較片數量少影響鍍(dù)膜層數和精(jīng)度(dù)的問題。
   4)、定位盤6 與槽型光藕17 的配合,通(tōng)過槽型(xíng)光藕來感知定(dìng)位盤上三個均分的120°狹縫,控製電機(jī)轉動停止。軸(zhóu)1 旋轉定位重複的一致(zhì)性得到保證,帶動撥(bō)動盤15 完成準確(què)的撥片動作。
   5)、 轉動密(mì)封饋入機構引入威爾遜密封(fēng)機構5,既保證(zhèng)電機9 通過齒輪齧合帶動(dòng)軸1 的靈活轉(zhuǎn)動,又保證真空室對外部的密封作用。優化設計的真(zhēn)空鍍膜(mó)機(jī)多片式(shì)比較片(piàn)裝置,其特點:(1)結構簡單,強度高,可靠性好;(2)比較(jiào)片裝載數量大,生產效率(lǜ)提高,可鍍製超多層精密(mì)光(guāng)學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低(dī)對硬件係統的要求,係統容易實現(xiàn)自動控製;(4)維護保養費用低。
   通過對真空鍍膜機多片式比較片裝置的優化設計,保證了比較片機構撥片轉動的靈活性和重複的一致性,解決了比較片有效麵積小,光路調整不方便,光信號信噪比差的問題,又(yòu)解決了比較片裝(zhuāng)載數量少的問題,可以使現有的真空鍍膜機鍍製光學薄膜的質量大(dà)大提高,並且30 層以上(shàng)的光學薄(báo)膜得以鍍製完成。實(shí)踐證明此比較片(piàn)結構是(shì)有用(yòng)的,可以在現代的光學真空鍍膜行業進行推廣和實施,
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