為盡量減小
真空鍍膜機真空(kōng)室形(xíng)變帶來的影響,我們將導軌、絲杆(gǎn)等傳動件固定於一個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采(cǎi)用點、線(xiàn)、麵活性支撐,以吸收和隔離形(xíng)變,並設置形變補償調節(jiē)機構,在(zài)係統抽(chōu)真空前,參照有(yǒu)限元計算提供的理(lǐ)論數(shù)據預設適當的補償量,以使其在真空狀態下達(dá)到平衡。而這樣的真空設計也使(shǐ)得現在的(de)真空鍍膜(mó)機就能夠(gòu)讓鍍膜在(zài)真空環境下(xià)正常進行,防止外界因素(sù)的影響(xiǎng)。
而為了(le)驗證有(yǒu)限元計算的結果,對真空室的形變和補償進行了測(cè)試。首先將四隻千分表定位在工作台安裝基點的真空壁外側,當真空室由大氣抽(chōu)到真空時,記錄各千分(fèn)表(biǎo)的變化量,經歸一化處理後為用激光自(zì)準直儀調整形(xíng)變補償。由水平調整的自準直儀發出一束激(jī)光穿過真(zhēn)空室的玻璃窗照射固定於工作(zuò)台上的反射鏡,在大氣環境下(xià)調整形(xíng)變補償調節機構,使反射光束進入自(zì)準直儀接收(shōu)視場,記錄兩維角度偏差。這些數據之後需要對其進(jìn)行分析處理,得到測試結果。