分析現(xiàn)有光學真空鍍膜機(jī)比較片機構(gòu)在使(shǐ)用過程中存在的問題(tí)。根據現代光學真空鍍膜機的發展趨(qū)勢和實際生產中急需(xū)解決的問題,通過多方(fāng)麵的研究分析,優化設計新一代的鍍膜機(jī)比較片結構,解決影響光學薄膜質量和超多層精密光學薄膜鍍製的問題,以(yǐ)提高(gāo)薄膜的監控精度,實現係統的自動控製,提高光學真(zhēn)空鍍膜機生產效率(lǜ),降低生產成本。使現代光學真空鍍膜機的結構配置(zhì)及使用(yòng)效果達到(dào)最佳。
從上世紀八十年代以來,全球光(guāng)電科學技術發展(zhǎn)與進步迅猛,我國研發光學真(zhēn)空鍍膜機(jī)設備,在引進消化吸收的基礎上,也迅速發展起來。最近二十多年,我國(guó)逐漸成為(wéi)全球光學產品的加工基地,作為光學產品的關鍵工序,也是最後一道工序-- 鍍膜(mó),要求越來越高,真空鍍膜機性能和配(pèi)置也必然要得到加強(qiáng),提高(gāo)設備質量、完善設備性能、提高生產效率等問題就顯現出來,這就涉及到此類設備的改造(zào)、設計研發,要求(qiú)相關技(jì)術人員去解決。
真(zhēn)空鍍膜機比較片機構就是該類設備的必不(bú)可少的關(guān)鍵部件,高端配置的設備對比較片(piàn)機構要求越來越高,它對(duì)鍍製多膜層的檢測和生產效率有著(zhe)重要的不可替代的(de)作用。
現有真空鍍膜機比較片機(jī)構 國(guó)內低端的真空鍍膜機,從發展之初到近10年左右,大多還沿用的該比較片結構,如(rú)圖1 所示。此比較片換位機構,通常由6 個獨立的直徑Φ22mm 的比較片組(zǔ)成。該機構主要由1 個托盤16、三個支撐杆110 及1 個比較片盤18 組成(chéng),三個支撐杆110 對托盤16起固定、支撐的作用,比較片盤18 靠齒輪(lún)齧(niè)合把運動輸入(rù)使(shǐ)之旋轉撥片,三者配合就完成撥片換(huàn)位動作。由於一般的鍍膜機真空室直徑尺寸都不大(dà),整個機構的(de)直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大,導致工件盤上可裝載的鍍製工件麵積(jī)比(bǐ)較小,並(bìng)且該機構(gòu)隻可放(fàng)置6 個比較片(piàn)13,直接影響生產效率(lǜ)。
該結構的特點是:結構簡單(dān),加工製造方便,安裝實施方便易行。缺點:該結構直徑麵積比較大,影響裝載(zǎi)工件的數量;比價(jià)片放置數量少,降低了生產效率;強度和剛度有限,又由於該結構完全暴露(lù)在真空室內,真空室內高溫濺射磨料的影響,使轉動平穩性、靈活(huó)性(xìng)一般,傳動位置重複的一致性誤(wù)差較大,清洗維護頻繁。
根據現有比較片結構在使用過程中暴露出的問題,對原有通用(yòng)鍍膜機(jī)比較片結構進行多次的改進,通過設計可重疊(dié)放置比(bǐ)較片存儲筒,使比較片機構(gòu)直徑所占麵積減小,但放置的(de)比較片數量增加到20 片左右, 整個機構直徑縮(suō)小為Φ89mm。結果可增加(jiā)較小工件鍍膜盤上裝載工件的數量,提高生產效率,還可以提高薄膜監控的精度,並降低(dī)對硬件係統的要求(qiú),容(róng)易實現對係統的自動控製。
具體(tǐ)動(dòng)作實施,改進後多片比較片機構的轉(zhuǎn)動,通過連接板23 和連(lián)接塊(kuài)21 固定在(zài)真(zhēn)空室頂板上,比較片機構的旋(xuán)轉運動,由旋轉密封軸把運動輸入真空室內的大齒輪(lún),帶動小齒(chǐ)輪所在傳動軸24 的(de)轉動,最(zuì)終實現整個比較(jiào)片機構的轉動。比較片切換比較片時,通過(guò)撥盤29 轉動一個工位,比較片存儲筒219 內落下(xià)一個(gè)比(bǐ)較片,到(dào)達預設的位置,同時,切換(huàn)的比較(jiào)片隨(suí)著工位轉動(dòng)落在比較片接受筒212 內,每切換一次,撥動一個工位(wèi)。其(qí)中,傳(chuán)動軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座組成的(de)傳動機構來完成撥盤轉動。
其特點是:(1)減小比較片機構直徑的麵積,提高裝載鍍製工件(jiàn)的數量;(2) 增加比較片的(de)數量,提高生產(chǎn)效率,提高薄(báo)膜監控的精度,降(jiàng)低對硬件係(xì)統的要求,係統容易實現自動控製。缺點:該比較片結構直徑小而長(Φ89×370),影響其使用的強度和剛度;由於該結構暴露在高溫濺射磨料的真空室內,影響其轉動平穩性、靈活性,且轉動位置(zhì)重複的一致性(xìng)較差,維護清(qīng)洗頻繁(fán)費(fèi)工。
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