真空鍍膜機各部件以及原理分析
作者: 來源: 日期:2020-03-16 9:52:53 人氣:35455
真空鍍膜機的真空腔體----根據加工產品要求的差(chà)異,真(zhēn)空腔體大小也不一樣,目前應用比較多的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體(tǐ)由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實,真(zhēn)空腔體各部分有鏈接閥,用來鏈接各抽(chōu)氣泵浦。
真空鍍膜(mó)機的輔助抽氣係統:排氣係統為鍍膜(mó)真空係統的重要組成部分,機械泵、增(zēng)壓(yā)泵/羅(luó)茨泵、擴散泵三大(dà)部分組成。這(zhè)個排氣係(xì)統為:擴散泵+機械泵+羅(luó)茨泵+低溫冷阱+polycold。排氣流程:機械泵先(xiān)將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空(kōng)狀態,為擴散泵(bèng)後續抽真空(kōng)提供前提(tí),之後當擴散泵抽(chōu)真空的時(shí)候,機械泵又配合(hé)油擴散泵組(zǔ)成串聯,以這樣的方式完(wán)成抽氣動作。
真空鍍膜機的機械原理以及其分類:
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用很廣的一種低真空泵(bèng),它是用油來保持(chí)密封效果並依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內吸氣空(kōng)腔的體積,使被抽容器內氣體體積不斷膨脹從(cóng)而獲得真空。
一(yī).機械泵的分類:機械泵有很(hěn)多種,常用的有滑閥式(主要用於(yú)大型設備),活塞往複式,定片式和(hé)旋片式(此目前(qián)運用很廣)
二.機械泵是從大(dà)氣開始工作的,它的主要參數有極限真空、抽氣速(sù)率、此為設(shè)計和選(xuǎn)用機械泵的重要依據,單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙(shuāng)級泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2PA,甚至更高。抽氣速率是指旋片泵,按額定轉(zhuǎn)速運轉時,單位時間內所能排出氣體(tǐ)的體積(jī),可用(yòng)公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截麵(miàn)積,L表示空腔長(zhǎng)度,係數表示轉子每旋轉一周有(yǒu)兩次排氣過(guò)程,Vs表示當轉子處於水平位置(zhì)的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積較(jiào)大,轉數為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉數以(yǐ)及皮帶的鬆緊度有關,當電機的皮(pí)帶比較(jiào)鬆,電機轉數很慢的時(shí)候,機械泵的排氣效(xiào)果也會變差,所以要經常保養,點檢,機(jī)械泵的密封效(xiào)果(guǒ)也需要經常點檢,由過少,達不到密封效果,泵(bèng)內會漏(lòu)氣,油過多,把(bǎ)吸氣(qì)孔堵(dǔ)塞,無法吸氣和排氣,一般在油位線下0.5厘米即可。
三.機械泵常常被用來抽除幹(gàn)燥的空氣,但不能抽除含(hán)氧(yǎng)量過高、有爆炸和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來(lái)抽除長久性的氣體,但是對(duì)水氣沒有好(hǎo)的效果,所以它(tā)不能抽除水氣。旋葉泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與(yǔ)定子不同心軸,像兩個內切圓,轉子(zǐ)槽內裝有兩片彈片,兩片彈片中間裝有(yǒu)彈簧,保證了彈片(piàn)緊緊貼在定子的內壁。