1. 真空檢漏基本概念 

所謂漏（lòu）氣是指氣體通過真空係統上的漏孔或間隙，從高壓流向低壓側的一（yī）種現象。

主要有以下幾點：

虛漏.氣密性.漏孔.漏率.最小（xiǎo）可檢漏（lòu）率.檢漏靈敏度.反應時間.消除時間.漏孔（kǒng）堵塞現象

2. 漏氣（qì）的判斷方法

1）真空泵工作是否良好 

2）真空係統內是否（fǒu）存在嚴重放氣  

3）真空係統容器壁或間隙處是否漏氣 

4）是否漏氣與放氣現象（xiàng）共存 

3. 真空檢漏法 

1）可動部分：傳動軸及其密封部分  

2）玻璃或陶瓷一類的易損（sǔn）部（bù）分

3）波（bō）紋管（guǎn） 

4）使用法蘭和墊圈的密（mì）封部分 

5）焊接部分的裂痕處（chù）  

4. 真空檢漏技巧 

1）對於正在加工製造過程中的真空容器或裝置來說，最好采用氣泡檢漏法 

2）對於正在使用（yòng）過程中的真空容器或（huò）裝（zhuāng）置（zhì）來說（shuō），似乎沒有損（sǔn）壞，但現壓強急劇上升時，首先用點著的（de）真空規（guī）和作為漏液體的酒精或丙酮，檢查認為容易損壞的地（dì）方。

3）若盡管做了上述種（zhǒng）種努力還是找不到漏孔，則要（yào）用罩子法或壓強上升法來判斷是否漏氣