真空鍍膜機是（shì）目前製作真空條件應用最（zuì）為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機（jī）組、電氣控製櫃三大工作原理。

真空主題（tí）--真空（kōng）腔根據加工產品要求的各（gè）異（yì），真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由（yóu）不鏽鋼材料製作，要求不生鏽（xiù）、堅實等（děng），真空腔各部分有鏈接閥，用來鏈接各抽氣泵浦。

輔助抽氣係（xì）統（tǒng）：排氣係（xì）統為鍍膜機真空係統的重（chóng）要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴（kuò）散泵三大部分組成，此排氣（qì）係統采用“擴散泵+機（jī）械（xiè）泵（bèng）+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排氣（qì）流程為：機械泵先將真空腔抽至（zhì）2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散（sàn）泵（bèng）後續抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真空的時候，機械泵又配合油擴散泵組（zǔ）成串聯，已這樣的方式完成抽氣動作。

 機械泵：也叫前級泵，機械泵（bèng）是（shì）應用最廣（guǎng）泛的一（yī）種低真空泵，它是用油來保（bǎo）持（chí）密封效果並依靠機械的（de）方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容（róng）器內（nèi）氣（qì）體的體積不斷膨脹從而獲得真空。