物理蒸鍍就是把物質加（jiā）熱揮發，然後將其蒸氣沉積在預定（dìng）的基材上。由於（yú）蒸發源須加熱揮發，又是（shì）在真空中進行，故亦稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍。

其可分（fèn）為三個步驟（zhòu）: 

(1)凝態的物質被加熱（rè）揮發成汽相  
(2)蒸汽在具空中移動一段距離至基（jī）材 
(3)蒸汽在基材上冷卻（què）凝結成薄膜（mó）