微信掃一掃 關注柚子影视:精彩影视作品尽在柚子影视平台最新動態！等（děng）離子（plasma）是除固體、液體（tǐ）、氣體之外的第（dì）四種物質狀態（tài），主要是由（yóu）氣體在高電磁場作用下發生解離，形成（chéng）一種包括電子（帶負電），正離子（帶正電），自由基和中性氣體分子組成的高活性物質，通產情（qíng）況下會發光。
一般（bān）情況（kuàng）下，等離子中的（de）正電荷數等於負電荷數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常（cháng）生（shēng）活中見到的閃（shǎn）電、日光燈、霓虹燈就是等離子體發光現象。
等離子的產生有很多種方（fāng）法，但生成和維持都需（xū）要外（wài）部（bù）能量的輸入。
電子從外加（jiā）電（diàn）磁場獲得能量，然後發生非彈性碰撞（zhuàng）產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電子、原子、分子、離子等物質，然而在解離碰撞中，電子（zǐ）可能與氣體離子有再結合作（zuò）用，或者因為漂（piāo）移及擴散而離開電磁場範圍等原因消失，因此當電（diàn）子產生與（yǔ）消（xiāo）失的速率相等時，此時的plasma即（jí）為穩定狀態。這裏列舉四種ETCH常用（yòng）產生plasma的方法，後麵會詳解（jiě）介（jiè）紹。
三、等離子體的參數 plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子（zǐ）碰撞前能夠移動的平（píng）均距離。MFP與環境壓力P呈反比，壓力越（yuè）高，MFP越短，壓力約低，MFP越長，這就是為什麽plasma產生要在低壓近似真空環境（jìng）下產生，因為在大氣壓力下（760Torr），電子的MFP很短，很難獲得（dé）足夠的能力來使用氣體離子化。