質量流量計，即MASS FLOW METER(縮寫（xiě）為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表，

其測量值不因溫度或（huò）壓力（lì）的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量（liàng）控製器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功能，

更重要的是，它能自動控製氣（qì）體流量（liàng），即用戶可根據需（xū）要進行（háng）流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值（zhí）上，

即使係統壓力有（yǒu）波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。

簡單地說，質量（liàng）流（liú）量控製器就是一個穩定裝置，是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控製的氣體穩流裝置。