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真空鍍膜(mó)技(jì)術是真空應用技術的一個重(chóng)要分支,它已廣泛地應用於光學、電子學、能源開發,理(lǐ)化儀器、建築機械(xiè)、包裝、民用製(zhì)品、表麵科學以及科學(xué)研究等(děng)領域中。真空鍍膜所采用的方法主要有蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束(shù)流沉積鍍以及分子束(shù)外延等。此外還有化(huà)學氣相沉積法。如果從(cóng)真空鍍膜的目的是為了(le)改變物質表麵的物理、化學性能的話,這一技術又是真(zhēn)空表麵處理技術中的重要組成(chéng)部分,其分類如(rú)表(biǎo) 6 所示。現就(jiù)其(qí)幾個主要應用方麵做(zuò)一簡單介紹。
首先在光學方麵,一塊光學玻璃或石英表麵(miàn)上鍍一(yī)層或幾層(céng)不同物質的薄(báo)膜後,即可成(chéng)為高反射(shè)或無反射(即增透膜)或者作任何預期比例的反射或透射材料,也可以作成對某種波長的(de)吸(xī)收,而對另一種波長的透射的濾色片。高反射膜從大口(kǒu)徑的天文望遠鏡和各種激光器開始、一直到(dào)新型建築物的大窗鍍膜茉莉,都很需要。增透膜則大量用於照相和各種激光器開始、一直到新型建築物的大窗鍍膜玻璃,都很需要。增透膜則大量用於照相機和電視攝象機的鏡頭(tóu)上。
在電子學方麵真空鍍膜更占有極為重要的地位(wèi)。各種規(guī)模的繼承電路。包(bāo)括存(cún)貯器、運算(suàn)器、告訴邏輯元件等都要采用導電膜、絕緣膜和保護(hù)膜。作為製備(bèi)電路的掩膜則用到鉻膜。磁帶(dài)、磁盤、半導體(tǐ)激(jī)光器,約瑟夫遜器件、電荷耦合器件( CCD )也都甬道各種薄膜。
在顯示器件方麵,錄象磁頭、高密(mì)度錄象帶(dài)以(yǐ)及(jí)平麵顯示裝置的透明導電膜、攝像管光導膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也都是采用真空(kōng)鍍膜法製備。在元件方麵,在真空中蒸發鎳鉻,鉻(gè)或金屬陶瓷可以製造電阻(zǔ),在塑料上蒸發鋁、一(yī)氧化矽、二氧化鈦等可以製造電容器,蒸發硒可以得(dé)到靜電複印機(jī)用的硒鼓、蒸發鈦(tài)酸鋇可以製造磁致伸縮(suō)的起聲元件等等。真空蒸(zhēng)發還可以用於製(zhì)造超導膜和(hé)慣性約束巨變反應用(yòng)的微珠鍍層。此外還可(kě)以對珠寶、鍾表外殼表麵、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用薄膜(mó),以及采用濺射鍍或離子鍍對(duì)刀具(jù)、模具等製造超硬膜。近兩年內所興(xìng)起的多弧離子鍍製備鈦金製品,如不鏽鋼薄板、鏡麵板、包柱(zhù)、扶手、高檔床托架、樓梯欄杆等(děng)目前(qián)正在盛行。