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真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理(lǐ)

作者: 來源: 日期:2018-01-18 13:27:24 人氣:7245
真空鍍膜機是目前製作真(zhēn)空條件應用最為廣泛的真空(kōng)設備,一般用真空室、真空機組、電氣控製(zhì)櫃三大部分組成,排氣係統采用擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷(lěng)阱+polycold組成。
下麵,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理:
1、真空主體:真空腔(qiāng)根據加(jiā)工產品要求的各異,真(zhēn)空腔的大(dà)小也不一樣,目前(qián)應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製(zhì)作,要求不生鏽(xiù)、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。  
2、輔助(zhù)抽(chōu)氣係統:排氣係統為鍍膜機真空係統的(de)重(chóng)要部分,主(zhǔ)要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵(bèng)三大部分組成。此排氣係統采用"擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold"組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小(xiǎo)於2.0*10-2PA左右的(de)低真空狀態,為擴散泵後繼抽真空提(tí)供前提(tí),之後當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。 
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