通俗的定義為在正常（cháng）狀況下，其應用（yòng）功能不會（huì）失效。

想要達到這個目的，一般而（ér）言這層薄（báo）膜必須具有堅（jiān）牢的附著（zhe）力、很低的內應力、針孔密度很少、夠強的機械性能、均勻（yún）的膜厚（hòu）、以及足夠的抗化（huà）學侵蝕性。

薄膜的特性主（zhǔ）要受到沉積（jī）過程、成膜條件、接口層的形（xíng）成和基材的影響，隨後的熱處理亦扮演重要角色。 

沉積的薄膜（mó）有內應力（lì）的存在，其來源為（wéi）何（hé）? 

薄（báo）膜和基材之間的晶格失配 

薄膜和基材之（zhī）間的熱膨脹係數差異 

晶（jīng）界之（zhī）間的互擠